Mechanický lešticí stroj řady MP
Mechanický lešticí stroj řady LSTD MP je vyvinut pro splnění požadavků na rychlé leštění super tvrdých materiálů. Zařízení používá měkkou kovovou desku nebo kompozitní desku a diamantovou kaši se specifickou velikostí částic, díky čemuž zpracovaný obrobek rychle dosáhne zrcadlového povrchu. Další významnou výhodou mechanického leštění je, že za předpokladu dobré kontroly tvaru desky může získat velmi plochý povrch obrobku téměř bez zborcení hran. U obrobku (wafer) s epitaxní aplikací lze po mechanickém leštění značně zkrátit dobu procesu chemického mechanického leštění a snížit náklady. Chemický mechanický lešticí stroj řady MP lze použít k mechanickému leštění různých super tvrdých polovodičových destiček, jako je safír, karbid křemíku a diamantu, a také k leštění dalších super tvrdých materiálů, jako je keramika, slinutý karbid a kalená ocel.
Stejně jako chemické mechanické lešticí stroje řady CP:
Mechanické leštící stroje řady MP jsou také rozděleny do tří stejných modelů: základní typ, typ poháněný středem tlakového kotouče (typ CD) a typ poháněný nezávisle na přítlačné desce (typ IDP) (viz strana 4; mechanické leštičky řady MP mají podobnou strukturu jako CP série chemických mechanických leštících strojů, ale aby vyhovovaly potřebám mechanického leštění, jsou mechanické leštící stroje řady MP vybaveny systémem otáčení leštících desek pro drážkování desek.
Mechanický leštící stroj typu IDP:
Mechanický lešticí stroj typu IDP může také dále zlepšit přesnost mechanického leštění integrací funkce otáčení přítlačné desky; Aby se vyřešily problémy s expanzní deformací a snížením tvrdosti leštící desky způsobené ohřevem generovaným mechanickým leštěním, LSTD vyvinula novou technologii a požádala o patent, který může účinně řídit povrchovou teplotu desky, tvar desky a tvrdost desky; Pro mechanické leštění polovodičových materiálů třetí generace, jako je karbid křemíku, diamant a další destičky, může tato technologie efektivně vyřešit problémy s účinností a přesností mechanického leštění.
ZÁKLADNÍ TYP Mechanický leštící stroj řady MP
Typ a spec | MP-380B(V*) | MP-460B(V) | MP-610B(V) | MP-810B(V) | MP-910B(V) | MP-1280B(V) | MP-1500B(V) |
Průměr leštící desky | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Průměr přítlačné desky | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm | 360 mm/355 mm | 485 mm | 576 mm |
č. přítlačné desky | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10~160 ot./min | 10~160 ot./min | 10~115 ot./min | 10~87 ot./min | 10-80ot./min | 10~64 ot./min | 10-54ot./min |
Leštící tlak (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Výkon motoru | 0,75 kw | 1,5kw | 3kw | 5,5 kW | 11kw | 22kw | 35kw |
Zdroj napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | ||||||
Dimenze | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Hmotnost (cca...) | 420 kg | 720 kg | 1080 kg | 2200 kg | 2400 kg | 7300 kg | 9500 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 2"-4ks/hlava 2"-3ks/hlava (V) | 2"-5ks/hlava 2"-4ks/hlava (V) | 2"-10ks/hlava 4"-3ks/hlava | 2"-14ks/hlava 4"-5ks/hlava 5"-3ks/hlava | 4"-7ks/hlava 5"-5ks/hlava 6"-3ks/hlava | 5"-8ks/hlava 6"-6ks/hlava 8"-3ks/hlava | 6"-8ks/hlava 8"-5ks/hlava |
Mechanický lešticí stroj řady CD TYPE MP
Typ a spec | MP-380B-CD | MP-460B-CD | MP-610B-CD | MP-810B-CD |
Průměr leštící desky | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Průměr přítlačné desky | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
č. přítlačné desky | 3 | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10~160 ot./min | 10~160 ot./min | 10~115 ot./min | 10~87 ot./min |
Leštící tlak (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Středově řízený výkon motoru | 400W | 750 kW | 1 kW | 1,5 kW |
Výkon hlavního motoru | 0,75 kw | 1,5 kW | 3kw | 5,5 kW |
Zdroj napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | |||
Dimenze | 1250L 770W 1560H | 1360L 850W 1650H | 1550L 900W 1700H | 1980L 920W 1900H |
Hmotnost (cca...) | 420 kg | 720 kg | 1080 kg | 2200 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 2"-4ks/hlava | 2"-5ks/hlava | 2"-10ks/hlava 4"-3ks/hlava | 2"-14ks/hlava 4"-5ks/hlava 5"-3ks/hlava |
Typ a spec | MP-910B-CD | MP-1280B-CD | MP-1500B-CD |
Průměr leštící desky | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Průměr přítlačné desky | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
č. přítlačné desky | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10-80ot./min | 10~64 ot./min | 10-54ot./min |
Leštící tlak (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Středově řízený výkon motoru | 2 kW | 3,5 kW | 5,5 kW |
Výkon hlavního motoru | 11kw | 22kw | 35kw |
Zdroj napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | ||
Dimenze | 2100L 1262W 2120H | 2550L 1670W 2200H | 3500L 2020W 2500H |
Hmotnost (cca...) | 2400 kg | 7300 kg | 9500 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 4"-7ks/hlava 5"-5ks/hlava 6"-3ks/hlava | 5"-8ks/hlava 6"-6ks/hlava 8"-3ks/hlava | 6"-8ks/hlava 8" 5ks/hlava |
Mechanický lešticí stroj IDP TYPE MP série
Typ a spec | MP-380B-IDP | MP-460B-IDP | MP-610B-IDP | MP-810B-IDP |
Průměr leštící desky | 381 mm | 460 mm | 598 mm | 796 mm |
Průměr přítlačné desky | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
č. přítlačné desky | 3 | 3 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10~160 ot./min | 10~160 ot./min | 10~115 ot./min | 10~87 ot./min |
Leštící tlak (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Pohon přítlačnou deskou Výkon motoru | 200W | 200W | 400 kW | 400 kW |
Rychlost otáčení přítlačné desky | 0~200 ot./min | 0~200 ot./min | 0~100 ot./min | 0~100 ot./min |
Výkon hlavního motoru | 0,75 kw | 1,5kw | 3kw | 5,5 kW |
Zdroj napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | |||
Dimenze | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Hmotnost (cca...) | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 2"-4ks/hlava | 2"-4ks/hlava | 2"-10ks/hlava 4"-3ks/hlava | 2"-14ks/hlava 4"-5ks/hlava 5"-3ks/hlava |
Typ a spec | MP-910B-IDP | MP-1280B-IDP | MP-1500B-IDP |
Průměr leštící desky | 898 mm | 1262 mm | 1480 mm |
Průměr přítlačné desky | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
č. přítlačné desky | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10-80ot./min | 10~64 ot./min | 10-54ot./min |
Leštící tlak (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Pohon přítlačnou deskou Výkon motoru | 2 kW | 1 kW | 1,3 kW |
Rychlost otáčení přítlačné desky | 2 kW | 0~100 ot./min | 0~100 ot./min |
Výkon hlavního motoru | 11kw | 22kw | 35kw |
Zdroj napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | ||
Dimenze | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Hmotnost (cca...) | 2200 kg | 7000 kg | 8600 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 4"-7ks/hlava 5"-5ks/hlava 6"-3ks/hlava | 5"-8ks/hlava 6"-6ks/hlava 8"-3ks/hlava | 6"-8ks/hlava 8" 5ks/hlava |
Populární Tagy: Mechanický lešticí stroj řady mp, Čína výrobci mechanických lešticích strojů řady mp, dodavatelé, továrna
Dvojice
NeDalší
NeMohlo by se Vám také líbit
Odeslat dotaz