Stroj na chemické mechanické leštění typu CD
Stroje CP typu s přítlačnými deskami poháněného středem jsou vyvinuty ze strojů základního typu CP přidáním sady středově poháněného válce přítlačné desky, který pohání čtyři desky, aby se během procesu otáčely. Tato struktura může eliminovat rozdíl rychlosti přítlačných desek způsobený různými charakteristikami vzduchových válců a různým leštěním na každé hlavě, aby byla lépe zajištěna konzistence výsledků leštění každé hlavy; Zároveň je nastavitelná rychlost vodícího kola, takže rychlost přítlačných desek lze upravit podle potřeb procesu a proces leštění je flexibilnější.
Keramická deska nebo přítlačná deska je umístěna prostřednictvím centrálního hnacího válce a vnějšího vodícího válce. Prostřednictvím rotace leštící desky a přizpůsobení vnějšího vodícího válečku lze realizovat přepínání keramických desek mezi různými stanicemi. S pomocí manipulátoru a řídicího systému může být automatická výrobní linka postavena tak, aby se zlepšila efektivita a snížily náklady.
Metoda wafer bonding (bonding).
Na strojích typu CP poháněných středem tlakové desky lze také použít tři způsoby držení destiček, kterými jsou: lepení voskem, přidržování pomocí leštících šablon, pomocí vakuového sklíčidla.
Aby se dosáhlo stabilního procesu leštění, doporučuje se používat leštící stroj řady CP se systémem řízení leštící kaše k řízení průtoku, teploty, hodnoty pH a dalších indikátorů leštící kapaliny.
Chemicky mechanický lešticí stroj řady CD TYPE CP
Typ a spec | CP-380B-CD | CP-460B-CD | CP-610B-CD | CP-810B-CD |
Průměr leštící desky | 381 mm | 460 mm | 610 mm | 812 mm |
Průměr přítlačné desky | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
č. přítlačné desky | 3 | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10~160 ot./min | 10~160 ot./min | 10~115 ot./min | 10~87 ot./min |
Leštící tlak (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Středově řízený výkon motoru | 400W | 750 kW | 1 kW | 1,5 kW |
Výkon hlavního motoru | 0,75 kw | 1,5 kW | 3kw | 5,5 kW |
Napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | |||
Dimenze | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Hmotnost (cca..) | 350 kg | 690 kg | 980 kg | 1800 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 2"-4ks/hlava | 2"-5ks/hlava | 2"-10ks/hlava 4"-3ks/hlava | 2"-14ks/hlava 4"-5ks/hlava 5"-3ks/hlava |
Typ a spec | CP-910B-CD | CP-1280B-CD | CP-1500B-CD |
Průměr leštící desky | 914 mm | 1282 mm | 1500 mm |
Průměr přítlačné desky | 360 mm / 355 mm | 485 mm | 576 mm |
č. přítlačné desky | 4 | 4 | 4 |
Leštící talíř RPM | 10-80ot./min | 10~64 ot./min | 10-54ot./min |
Leštící tlak (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Středově řízený výkon motoru | 2 kW | 3,5 kW | 5,5 kW |
Výkon hlavního motoru | 11kW | 22kW | 35kw |
Napájení | 3PH, 380 V, 50 Hz | ||
Dimenze | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Hmotnost (cca..) | 2200 kg | 7000 kg | 8600 kg |
Kapacita zatížení oplatky | 4"-7ks/hlava 5"-5ks/hlava 6"-3ks/hlava | 5"-8ks/hlava 6"-6ks/hlava 8"-3ks/hlava | 6"-8ks/hlava 8" 5ks/hlava |
Populární Tagy: Chemický mechanický lešticí stroj typu cd, Čína výrobci chemických mechanických leštících strojů typu cd, dodavatelé, továrna
Mohlo by se Vám také líbit
Odeslat dotaz